Carcaterització elèctrica del plasma d'una descàrrega de radiofreqüència utilitzada en la fabricació de circuits VLSI Autors/ores Pau Molinàs i Mata Descàrregues Les dades de descàrrega encara no estan disponibles. Descàrregues Text complet Publicat 2005-11-08 Número 12: 1r semestre 1997 Secció Articles Llicència La propietat intel·lectual dels articles és dels respectius autors. Els autors en el moment de lliurar els articles a la Revista de Física per a sol·licitar-ne la publicació accepten els termes següents: Els autors cedeixen a la Societat Catalana de Física (filial de l'Institut d'Estudis Catalans) els drets de reproducció, comunicació pública i distribució dels articles presentats per a ser publicats a la Revista de Física. Els autors responen davant la Societat Catalana de Física, de l'autoria i l'originalitat dels articles presentats. És responsabilitat dels autors l'obtenció dels permisos per a la reproducció de tot el material gràfic inclòs en els articles. Societat Catalana de Física, està exempta de tota responsabilitat derivada de l'eventual vulneració de drets de propietat intel·lectual per part dels autors. Els continguts publicats a la revista estan subjectes -llevat que s'indiqui el contrari en el text o en el material gràfic- a una llicència Reconeixement - No comercial - Sense obres derivades 3.0 Espanya (by-nc-nd) de Creative Commons, el text complet de la qual es pot consultar a http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/deed.ca. Així doncs, s'autoritza el públic en general a reproduir, distribuir i comunicar l'obra sempre que se'n reconegui l'autoria i l'entitat que la publica i no se'n faci un ús comercial ni cap obra derivada. La Revista de Física no es fa responsable de les idees i opinions exposades pels autors dels articles publicats.
